【合盛硅业：目前6英寸碳化硅衬底已全面量产】财联社3月7日电，合盛硅业在互动平台表示，目前，6英寸碳化硅衬底已全面量产，在8英寸碳化硅衬底研发方面，公司凭借自研体系和高效研发，已开始小批量生产。