【半导体设备股持续走高 盛剑科技涨停】财联社5月20日电，午后半导体设备股持续走高，盛剑科技直线涨停，中科飞测、长川科技、拓荆科技涨超10%，金海通、盛美上海、华海清科、华峰测控等涨超5%。