【半导体设备股持续走强 北方华创涨停续创历史新高】财联社5月21日电，半导体设备股盘中持续走强，北方华创涨停，续创历史新高，总市值突破5200亿，联动科技涨超10%，屹唐股份、拓荆科技、中微公司、长川科技均涨超6%。