【至纯科技：半导体单片和槽式湿法设备二季度批量出机】《科创板日报》22日讯，据至纯科技官方公众号消息，6月19日，随着交付给华虹集团ICRD有着特殊清洗要求的300MM单片式湿法设备搬入，至纯旗下至微科技的单片清洗和槽式湿法设备在二季度出机超过了十台。其单片湿法清洗设备可媲美国际大厂产品，在关键性指标工艺上，机台性能和工艺可支持14nm以下的工艺技术节点。