【芯源微：公司生产的前道Barc涂胶设备 可满足28nm加工工艺】《科创板日报》1日讯，科创板公司芯源微在互动平台表示，公司生产的前道Barc（抗反射层）涂胶设备已通过上海华力工艺验证，可满足客户28nm技术节点加工工艺。公司发往长江存储的前道涂胶显影设备目前已结束I-line联机工艺验证，下一步需要进行产能及稳定性测试。目前公司前道设备的验证按计划进行。