【独家电报| ASML：DUV光刻机NXT:2050i将立即进入批量生产 】《科创板日报》14日讯，据《科创板日报》记者从ASML获悉，在DUV光刻业务领域，ASML在本季度对第一台TWINSCAN NXT:2050i进行了质量认证，并于第四季度初发货。NXT:2050i基于NXT平台的新版本，其中包括掩模版工作台，晶圆工作台，投影物镜和曝光激光器的技术改进。由于这些创新，该系统提供了比其前身更好的套刻精度控制，并具有更高的生产率，而且，NXT:2050i 将立即进入批量生产。（记者 戚夜云）