【晶瑞股份购得ASML XT 1900Gi型光刻机 最终将应用于12英寸芯片制造】财联社1月20日讯，晶瑞股份公告，经公司多方协商、积极运作，顺利购得ASML XT 1900Gi型光刻机一台，该设备可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。该设备于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。公司量产光刻胶近30年，公司完成中试的KrF光刻胶已进入客户测试阶段，达到0.15μm的分辨率。本次购买的ASML光刻机设备系公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目的必要实验设备，旨在研发出更高端的ArF光刻胶，若研发工作进展顺利，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到ArF光刻胶的跨越，并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。 晶瑞股份是一家生产销售微电子业用超纯化学材料和其他精细化工产品的企业，公司承担的02国家重大专项光刻胶项目已通过验收，公司生产的i线光刻胶已向合肥长鑫、士兰微、等行业头部公司供货；功能性材料方面，公司开发光刻胶产品配套的系列功能性材料，并向半导体头部公司实现批量供货；锂电池材料方面，公司通过收购载元派尔森成功进入三星环新的供应体系。