【国内光刻设备第一股 芯碁微装首日上涨189.6%】《科创板日报》1日讯，今日，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（股票简称：芯碁微装，股票代码：688630）登陆科创板，成为国内光刻设备第一股，首日上涨189.6%。芯碁微装成立于2015年6月30日，是一家专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务的国家高新技术企业。