【中电科：离子注入机全谱系产品国产化 抛光设备进入中芯国际、华虹宏力、台积电、联电等厂商】《科创板日报》9日讯，在7月8日举行的北京亦庄创新发布会上，中电科电子装备集团有限公司（以下简称：中电科）发布了在离子注入机、化学机械抛光设备（CMP）、湿法设备等技术上的突破成果。中电科战略计划部主任李进透露，目前电科装备已实现离子注入机全谱系产品国产化，可为芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。据北京亦庄消息，中国电子科技集团还发布了国产化化学机械抛光设备，其中200mm抛光设备已经进入到中芯国际、华虹宏力、台积电、联电等国内大线，被中芯国际誉为“唯一置换率100%的国产设备供应商”。