【国林科技：高浓度臭氧气体设备和高浓度臭氧水机设备项目研发已进入到样机测试阶段】财联社12月13日电，国林科技在互动平台表示，公司已掌握了半导体行业用臭氧清洗设备制造及设计工艺多项关键技术：高频逆变电源技术、超纯高效混合单元、非接触液位检测技术和在线臭氧水溶浓度检测技术。公司现已取得的“一种臭氧发生器用板式电极及其制备方法和应用”发明专利（详见公告：2021-103），可满足半导体行业的应用需求。目前，高浓度臭氧气体设备和高浓度臭氧水机设备项目研发已进入到样机测试阶段。